在这个对高效、高性能电子设备需求空前高涨的时代新影宝，先进半导体材料的研发和集成变得至关重要。
作为全球第二大半导体材料（仅次于硅），氮化镓（GaN）凭借其独特性能已成为照明、雷达系统和功率电子器件的理想选择。尽管该材料已应用数十年，但若要充分发挥其性能优势，必须实现 GaN 晶体管与硅基数字芯片（即 CMOS 芯片）的高效互联。
然而，现有集成方案存在明显局限：焊接连接方案虽能实现 GaN 晶体管与 CMOS 芯片的键合，但会制约晶体管微型化进程。晶体管尺寸越小，其工作频率才能越高；另一种晶圆级集成方案将整片 GaN 晶圆堆叠于硅晶圆之上，但因材料利用率极低导致成本激增。
近期，由麻省理工学院（MIT）领衔的研究团队开发出一种新型制造工艺，能以低成本、可扩展的方式将高性能 GaN 晶体管集成到标准硅基 CMOS 芯片上，且完全兼容现有半导体代工厂产线。这项研究最近在 IEEE 射频集成电路研讨会上进行了展示。
“我们的目标是在不牺牲成本或带宽的前提下，实现 GaN 晶体管与硅基数字芯片的融合。通过在硅芯片表面精准集成超微型分立式 GaN 晶体管新影宝，成功攻克了这一难题。”论文第一作者、MIT 博士生 Pradyot Yadav 强调。
该技术通过在 GaN 晶圆表面制备微型晶体管阵列，切割后通过低温工艺将所需数量的晶体管精准键合至硅芯片，仅需添加少量 GaN 材料即可显著提升器件性能，既保留了两种材料的性能优势，又大幅降低了成本。这种分布式集成方案还能有效降低系统整体工作温度
该团队开发的多步集成工艺包含以下关键技术环节：
首先在 GaN 晶圆表面高密度制备微型晶体管阵列，随后采用高精度激光切割技术将每个晶体管加工成 240×410 微米的独立单元（研究者称之为“dielet”）。每个晶体管顶部预制微型铜柱，通过低于 400℃ 的铜-铜低温键合工艺与硅 CMOS 芯片表面的铜柱直接连接，这一温度阈值能确保两种材料性能不受损。
现行 GaN 集成技术普遍采用金键合工艺新影宝，不仅材料成本高昂，还需更高温度和更强键合力。更关键的是，金材料会污染半导体代工厂的标准设备，往往需要专用产线。“我们追求的工艺必须满足低成本、低温、低压三大特征，铜在所有方面都完胜金材料，同时还具有更优异的导电性能。”Yadav 表示。
为实现高精度集成，研究团队自主研发了专用设备。该设备通过真空吸附技术操控微米级 GaN 晶体管单元（dielet），能以纳米级的定位精度将其对准硅芯片表面的铜键合区。借助先进显微成像系统实时监控对接过程，当晶体管到达预设位置后，施加热压完成键合。
为验证该工艺，研究人员以手机核心组件射频功率放大器（用于增强无线信号的电路）作为验证案例，所制备器件在带宽和增益方面全面超越传统硅基晶体管方案，单个芯片面积不足 0.5 平方毫米。应用于智能手机可同步实现通话质量提升、无线带宽扩容、连接稳定性增强电池续航延长等多重优势。
特别值得注意的是，上述案例中采用的硅芯片基于 Intel 16/22 nm FinFET 先进工艺，具备顶级金属化方案和无源器件选项，因此能集成硅电路常用组件（如中和电容器），使放大器增益显著提升，为下一代无线技术奠定基础。
除了直接的商业应用外，研究人员表示，他们的创新制造技术还为未来技术带来了希望，有可能开启量子计算的进步。氮化镓在低温下的性能（在量子应用中通常必不可少）使其成为下一代计算范式的首选材料。GaN 和硅电子器件最佳特性的融合，可能引领一波技术进步浪潮，从而改变多个电子市场，创造出不仅功能更强大、用途更广泛的器件。
未参与该研究的 IBM 科学家 Atom Watanabe 评价道：“为应对摩尔定律放缓，异质集成已成为实现系统持续微型化、能效提升和成本优化的关键路径。尤其在无线技术领域，化合物半导体与硅晶圆的紧密集成，对实现包含前端集成电路、基带处理器、加速器和内存的天线到 AI 一体化平台至关重要。本研究通过 GaN 与硅 CMOS 的三维集成取得重大突破，拓展了现有技术边界。”
1.https://news.mit.edu/2025/new-3d-chips-could-make-electronics-faster-and-more-energy-efficient-0618
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